本项目是某新材料企业生产用水经处理后需要达到超纯水水质要求回用生产线。纯水指的是不含杂质的H2O。主要在生物、化学化工、冶金、宇航、电力、电子工业等领域使用,其对水质纯度的要求相当高。而且由于各行业生产的标准不一样,对水质的要求标准也不同,本项目业主要求是要求电阻率达到16Ω。
指标
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单位
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标准
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PH
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6-9
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CODcr
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mg/L
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≤100
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总铜
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mg/L
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≤0.5
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总镍
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mg/L
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≤1.0
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悬浮物
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mg/L
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≤70
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氨氮
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mg/L
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≤15
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硫化物
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mg/L
|
≤0.5
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磷酸盐
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mg/L
|
≤0.5
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总氰化物
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mg/L
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≤0.3
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石油类
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mg/L
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≤5.0
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色度
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≤50
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本项目在原有废水处理终端采用软化+两级反渗透纯水设备+EDI工艺,以及两级反渗透纯水设备+DI工艺,实现废水与自来双水源情况下,达到超纯水要求,实现车间废水零排放和自动补给。
中国国家电子级超纯水GB/TII446.1-1997标准
级别 指标 |
EW-I |
EW-Ⅱ |
EW-Ⅲ |
EW-Ⅳ |
电阻率
MΩ﹒cm(25℃)
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18以上
(95N时间)
不低于17
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15
(95N时间)
不低于13
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12.0
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0.5
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全硅,最大值,µg/L
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2 |
10
|
50
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1000
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>1µm微粒数,最大值,个/mL
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0.01
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5 |
10
|
500
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细菌个数,最大值,个/mL
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0.01
|
0.1
|
10
|
100
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铜,最大值,µg/L
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0.2
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1 |
2 |
500
|
锌,最大值,ug/L
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0.2
|
1 |
5 |
500
|
镍,最大值.µg/L
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0.1
|
1 |
2 |
500
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钠.最大值,µg/L
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0.5
|
2 |
5 |
1000
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钾,最大值.ug/L
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0.5
|
2 |
5 |
500
|
氯,最大值.ug/L
|
l |
l |
10
|
1000
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硝酸根,最大值,ug/L
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1 |
1 |
5 |
500
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磷酸根,最大值.ug/L
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1 |
1 |
5 |
500
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硫酸根,最大值,ug/L
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1 |
1 |
5 |
500
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总有机碳,最大值,ug/L
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20
|
100
|
200
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1000
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